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GP200 シリーズ ガスデータベース

GP200 シリーズマスフローコントローラ(MFC)用のガスモデルは各 GP200 デバイスに内蔵されており、ガスとレンジの再構成をその場で行うことができるため、プロセスの柔軟性を最大限に高めることができます。以下のファイルをダウンロードして、GP200 MFCを最新の組み込みガスデータベースにアップデートしてください。

ドキュメンテーション

ファイル名
ファイル形式
言語別ドキュメント
Standard Bin Gas Listing - GP200 Series Gas Database
XLSX
Low Pressure Bin Gas Listing - GP200 Series Gas Database
XLSX

バージョン

バージョン

説明

ダウンロード

バージョン

GP200 組み込みガス・データベース V403

説明

  • CTビンガスを追加:566,657,963,1062,1063,1065,1066,1079の追加
  • CTビンテストガスを追加:7064、7068、7427、7610、7834、および 8081
  • LP ビンのガスを追加しました:12
  • LP ビンテストガスを追加:7082、7091、7384、および 7429

バージョン

GP200 組み込みガス・データベース V401

説明

  • 250種類以上の新ガスを追加

バージョン

GP200 組み込みガス・データベース V400

説明

  • CTビンガスを追加しました:88 (SiF4)

バージョン

GP200 組み込みガス・データベース V399

説明

  • CTビンガスを追加しました:6, 22, 176, 569, 651, 723, 817, 1026, 1060, 1061
  • CTビンテストガスを追加しました:7016, 7023, 7124, 7328, 7963
  • LPビンのガスを追加しました:127, 156
  • LP ビンテストガスを追加しました:7138, 7265, 7266, 7360
  • モデルを更新しました:12
    • HFは、低分子量、低蒸気圧、高比熱比の組み合わせによるユニークな半導体ガスです。今回の更新では、温度と圧力に依存する実際の圧縮性を考慮することで、HFの性能を向上させました。