Gasdatenbank der GP200-Serie
Das Gasmodell für die Massendurchflussregler (MFC) der Serie GP200 ist in jedes GP200-Gerät eingebettet und ermöglicht eine fliegende Gas- und Bereichsumkonfiguration für maximale Prozessflexibilität. Laden Sie die unten stehenden Dateien herunter, um Ihren GP200 MFC auf die neueste integrierte Gasdatenbank zu aktualisieren.
Versionen
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GP200 Eingebettete Gasdatenbank V403
Beschreibung
- CT Bin Gases hinzugefügt: 566, 657, 963, 1062, 1063, 1065, 1066, und 1079
- CT Bin Test Gase hinzugefügt: 7064, 7068, 7427, 7610, 7834, und 8081
- LP Bin Gase hinzugefügt: 12
- LP-Bin-Testgase hinzugefügt: 7082, 7091, 7384 und 7429
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GP200 Eingebettete Gasdatenbank V401
Beschreibung
- Über 250 neue Gase hinzugefügt
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GP200 Eingebettete Gasdatenbank V400
Beschreibung
- CT Bin Gases hinzugefügt: 88 (SiF4)
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GP200 Eingebettete Gasdatenbank V399
Beschreibung
- CT Bin Gases hinzugefügt: 6, 22, 176, 569, 651, 723, 817, 1026, 1060, 1061
- CT Bin Test Gase hinzugefügt: 7016, 7023, 7124, 7328, 7963
- LP Bin Gase hinzugefügt: 127, 156
- LP-Bin-Testgase hinzugefügt: 7138, 7265, 7266, 7360
- Aktualisiertes Modell: 12
- HF ist aufgrund seiner Kombination aus niedrigem Molekulargewicht, niedrigem Dampfdruck und hohem spezifischen Wärmeverhältnis ein einzigartiges Halbleitergas. Diese Aktualisierung beinhaltet eine verbesserte HF-Leistung durch Berücksichtigung der temperatur- und druckabhängigen tatsächlichen Kompressibilität.
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