Beta-Software
Die Software oder Datenbanken, die von dieser Seite heruntergeladen werden, sind Beta-Versionen und wurden auf der Grundlage von Nutzerwünschen nach neuen Funktionen oder Korrekturen schnell entwickelt. Zum Beispiel können neue Gaskonfigurationen in nur wenigen Tagen verfügbar sein (wenn Gaseigenschaftsdaten verfügbar sind).
Aufgrund dieser schnellen Bereitstellungsmethodik wird die gesamte Beta-Software auf BrooksInstrument.com auf Risiko des Benutzers heruntergeladen.
Wir ermutigen die Nutzer, vor der endgültigen Freigabe Feedback zu dieser Software zu geben, indem sie eine E-Mail über diesen Link senden: Rob.Crane@BrooksInstrument.com
Dokumenation
Versionen
Version
Beschreibung
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Version
Beta GP200 Eingebettete Gasdatenbank V402
Beschreibung
Aktualisierungen:
- LP Bin Tabelle für 12 (HF) hinzugefügt
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Version
Beta GP200 Eingebettete Gasdatenbank #2628001
Beschreibung
Aktualisierungen:
- CT Bin Gases hinzugefügt: 566 (10% F2/He), 677 (20% F2/He), 963 (20% F2/N2), 980 (20% F2/Ar)
- Hinzugefügte LP Bin Gase: 418 (C5F12)
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Beta GP200 Eingebettete Gasdatenbank V401
Beschreibung
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Version
Beta Brooks Expert Support Tool (BEST) V5.13.9.16
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Beta FloCom Datenbank db240125
Beschreibung
Aktualisierungen:
- Phosphor-Pentafluorid, PF5, für GF1xxx MultiFlo hinzugefügt
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Beta FloCom Datenbank db190220
Beschreibung
Featuring:
- Die folgenden Gase/Gemische wurden in die Datenbank aufgenommen: SEMI-Gas-Code 1055
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Beta FloCom Datenbank db180712
Beschreibung
Featuring:
- Die folgenden Gase/Gemische wurden in die Datenbank aufgenommen: SEMI Gas Code 1050
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Beta MultiFlo-Konfigurator V5.35.01
Beschreibung
Die Beta-Version 5.35.01 enthält diese neuen Funktionen:
- Die High Flow MFCs der GF100-Serie können jetzt in SLPM konfiguriert werden.
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