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测试版软件

从本页下载的软件或数据库均为测试版,是根据用户要求的功能或修正而快速开发的。例如,新的气体配置可在短短几天内完成(在有气体特性数据的情况下)。

由于采用了这种快速部署方法,BrooksInstrument.com 上的所有测试版软件均由用户自行承担下载风险。

我们鼓励用户在软件最终发布前提供反馈意见,请通过此链接发送电子邮件:Rob.Crane@BrooksInstrument.com

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快速入门指南 - MultiFlo™ 配置器
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版本

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版本

Beta GP200 固件 V4.12

版本

Beta GP200 嵌入式气体数据库 V402

说明

更新:

  • 添加了 12 版 LP 储藏室表格(高频)

版本

Beta GP200 嵌入式气体数据库 #2628001

说明

更新:

  • 已添加 CT 储藏室气体:566(10% F2/He)、677(20% F2/He)、963(20% F2/N2)、980(20% F2/Ar)
  • 添加的 LP 储藏室气体:418 (C5F12)

版本

Beta GP200 嵌入式气体数据库 V401

说明

版本

测试版布鲁克斯专家支持工具 (BEST) V5.13.9.16

说明

该软件的完整发布版本 V5.14.0.0 可通过BEST 软件页面获取。

版本

Beta FloCom 数据库 db240125

说明

更新:

  • 为 GF1xxx MultiFlo 增加了气体五氟化磷 PF5

版本

Beta FloCom 数据库 db190220

说明

进展顺利

  • 数据库中新增了以下气体/混合物:SEMI 气体代码 1055

版本

测试版 FloCom 数据库 db180712

说明

进展顺利

  • 数据库中新增了以下气体/混合物:SEMI 气体代码 1050

版本

Beta MultiFlo 配置器 V5.35.01

说明

测试版 5.35.01 包括以下新功能:

  • GF100 系列大流量 MFC 现在可以用 SLPM 进行配置

版本

Beta MultiFlo 配置器设置 V5.36

版本

Beta VDM300 WARP