测试版软件
从本页下载的软件或数据库均为测试版，是根据用户要求的功能或修正而快速开发的。例如，新的气体配置可在短短几天内完成（在有气体特性数据的情况下）。
由于采用了这种快速部署方法，BrooksInstrument.com 上的所有测试版软件均由用户自行承担下载风险。
我们鼓励用户在软件最终发布前提供反馈意见，请通过此链接发送电子邮件：Rob.Crane@BrooksInstrument.com
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Beta Flocom 数据库 #db260422
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- 已添加 SH 仓气体，用于 221 号气体（C2H5F）
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Beta GP200 嵌入式气体数据库 #2628001
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更新：
- 已添加 CT 储藏室气体：566（10% F2/He）、677（20% F2/He）、963（20% F2/N2）、980（20% F2/Ar）
- 添加的 LP 储藏室气体：418 （C5F12）
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Beta FloCom 数据库 db240125
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更新：
- 为 GF1xxx MultiFlo 增加了气体五氟化磷 PF5
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Beta FloCom 数据库 db190220
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进展顺利
- 数据库中新增了以下气体/混合物：SEMI 气体代码 1055
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测试版 FloCom 数据库 db180712
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进展顺利
- 数据库中新增了以下气体/混合物：SEMI 气体代码 1050
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Beta MultiFlo 配置器 V5.35.01
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测试版 5.35.01 包括以下新功能：
- GF100 系列大流量 MFC 现在可以用 SLPM 进行配置
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