GP200 系列气体数据库
GP200 系列质量流量控制器 (MFC) 的气体模型嵌入在每台 GP200 设备中，可实现气体和量程的即时重新配置，从而最大限度地提高过程灵活性。下载以下文件，将 GP200 MFC 更新为最新的嵌入式气体数据库。
版本
版本
说明
下载
版本
GP200 嵌入式气体数据库 V403
说明
- 新增 CT 储藏室气体：566、657、963、1062、1063、1065、1066 和 1079
- 已添加 CT 储藏室测试气体：7064、7068、7427、7610、7834 和 8081
- 已添加 LP 储藏室气体：12
- 已添加 LP 储藏室测试气体：7082、7091、7384 和 7429
下载
版本
GP200 嵌入式气体数据库 V399
说明
- 已添加 CT 储藏室气体：6, 22, 176, 569, 651, 723, 817, 1026, 1060, 1061
- 已添加 CT 储藏室测试气体：7016, 7023, 7124, 7328, 7963
- 已添加 LP 储藏室气体127, 156
- 已添加 LP 储藏室测试气体：7138, 7265, 7266, 7360
- 更新了型号：12
- 由于结合了低分子量、低蒸汽压和高比热比，HF 是一种独特的半导体气体。本次更新通过考虑与温度和压力相关的实际可压缩性，改进了 HF 性能。
下载