EtherCAT® 总线系统文件
EtherCAT®（控制自动化技术以太网）是一种高性能数字通信协议，专为自动化系统中快速、精确且可靠的数据交换而设计。EtherCAT 已广泛应用于半导体制造领域，可实现实时通信、设备同步控制并提高工艺效率。 Brooks Instrument 为GF 系列、GP200 系列、SLA5800 系列、SLAMF 系列、VDM300 系列以及 XacTorr DMX 提供了 EtherCAT 连接功能，使质量流量控制、蒸汽输送和真空测量设备能够与基于 EtherCAT 的自动化系统无缝集成，无需外部网关或适配器。
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