ベータ版ソフトウェア
このページからダウンロードできるソフトウェアやデータベースはベータ・リリースであり、ユーザーからの要求機能や修正に基づいて急速に開発されたものです。例えば、新しいガス構成はわずか数日で利用可能になります（ガス特性データが利用可能な場合）。
この迅速な展開方法のため、BrooksInstrument.com上のすべてのベータ版ソフトウェアは、ユーザーの責任においてダウンロードされます。
最終リリース前に、このリンク経由で電子メールを送信することにより、このソフトウェアに関するフィードバックを提供することをお勧めします：Rob.Crane@BrooksInstrument.com
ドキュメント
ファイル名
ファイル形式
言語別ドキュメント
バージョン
バージョン
説明
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バージョン
ベータ GP200 組み込みガスデータベース #2628001
説明
アップデート
- CTビンガスを追加：566(10%F2/He)、677(20%F2/He)、963(20%F2/N2)、980(20%F2/Ar)
- LPビンのガスを追加：418 (C5F12)
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バージョン
ベータ版Brooks Expert Support Tool (BEST) V5.13.9.16
説明
このソフトウェアの完全リリース版であるV5.14.0.0は、BESTソフトウェアのページから入手できます。
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バージョン
ベータ版フロコム データベース db190220
説明
特集
- 以下のガス/混合物がデータベースに追加されました：SEMIガスコード1055
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バージョン
ベータ版フロコム データベース db180712
説明
特集
- 以下のガス/混合物がデータベースに追加されました：SEMIガスコード1050
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バージョン
ベータ・マルチフロ・コンフィギュレーター V5.35.01
説明
ベータ版5.35.01には以下の新機能が含まれています：
- GF100シリーズ高流量MFCのSLPM設定が可能になりました。
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