MultiFlo™ 配置器
适用于 Windows™ 操作系统的 MultiFlo™ Configurator 软件为用户提供了一种快速、简单的方法，无需将 GF100 系列、GF40 系列、GF80 系列和 Celerity/Unit 品牌质量流量控制器从气体管线上拆下，即可对其气体和量程重新编程。
MultiFlo™ 技术是 Brooks Instrument 的专利技术，为工艺工程师提供了独一无二的资源：一个全面的气体数据库--建立在成千上万次本机气体运行的基础上，以建立考虑气体间热差异和物理差异的校正函数。
我们易于使用的 MultiFlo™ 配置器应用程序拥有市场上最全面的气体数据库，可提高工艺气体的准确性，使您能够在最广泛的应用中使用我们支持 MultiFlo™ 的 MFC。
如果您是 MultiFlo™ 和 FloCom 数据库的新用户，请下载各软件包的最新版本。如果您的 MFC 上已经安装了旧版本的 MultiFlo™ 软件或 FloCom 数据库，则必须首先卸载，然后安装最新版本的 MultiFlo™ 配置器和/或 FloCom 数据库。
请注意，每一个新版本的 MultiFlo™ 配置器和 FloCom 数据库都有可能对 GF100 系列和 Celerity/Unit 品牌设备产生精确复制的影响。如果贵公司遵循精确复制程序，建议继续使用当前已批准的版本，直至这些更改获得批准。请不要更新数据库软件，除非您更新到最新版本的 MultiFlo™ 配置器。
驱动程序
大多数情况下，安装 MultiFlo 配置程序时会自动安装驱动程序。如果遇到这种情况，请在下面下载正确的驱动程序。
如果您对 MultiFlo™ 配置器和/或 FloCom 数据库有任何疑问，请联系技术服务部门或当地的布鲁克斯仪器公司代表寻求帮助。
文档
版本
版本
说明
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版本
MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db250910
说明
- 数据库中新增了以下气体/混合物：SEMI 气体代码 14、65、68、70、91、159、231、260、321、350、384、427、5030、651、657、1061、1071、1081、1082、1083、1084、1085
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表 (40-54)：SEMI 气体代码 65、68、159、260、321、350、384、427、651、657、1061、1071、1081、1082、1083、1084、1085、5030
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表 (41-48)：SEMI 气体代码 91
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列高流量 SA/SH 储气筒 (50-54)：SEMI 气体代码 14
- 在以下气体/混合物中添加了 GF40 和 GF100 系列大流量 SA/SH 罐 (51-54)：SEMI 气体代码 70
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 SA 罐表 (41-54) 和 GF100 系列 SH 罐表 (41-48)：SEMI 气体代码 231
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版本
用于 GF100 EtherCAT MFC 的 MultiFlo™ 配置驱动程序
说明
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版本
用于使用 USB 2.5 毫米电缆的设备的 MultiFlo™ 配置器驱动程序
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版本
MultiFlo™ 配置器 V5.34
说明
- 可设置大于 128 的 Mac ID，并通过 MultiFlo™ 与 Mac ID 高达 239 的设备连接
- 可访问 PC115/PC125 的 DNET 设置，并修复 1.5L 与 2L 设备的标签打印问题
- 提供更多生产商和消费者选项，并为 DNET 配置选项增加了数据单位和数据类型
- 能够配置 SH51-SH54 箱的设备
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版本
MultiFlo™ 配置器 V5.32
说明
- 气体详细信息页面新增 "气体型号 "和 "FloCom+ 版本 "栏
- GF135 不可配置设备现在能够在创建页面后设置页面方向
- 固件 1.28 已更新，如果选择 dncIdleEventEnable，则设置为启用
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版本
MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db220418
说明
- 数据库中新增了以下气体/混合物：SEMI 气体代码 124、193、205、265、304、323、328、376、401、403、404、558、588、623、631、687、1058、5021、5024、5027
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表 (40-49)：SEMI 气体代码 205、265、304、403、558、588、623、631、687、1058、5021
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表 (41-49)：SEMI 气体代码 124、323、328、376、401、404、5024、5027
- 为以下气体/混合物添加了 GF100 系列大流量 SA/SH 箱 (50-54)：SEMI 气体代码 124、193、205、265、297、304、323、328、376、401、403、404、542、558、588、623、631、687、963、1058、5021、5024、5027
- 为以下气体/混合物添加了 GF100 系列 SH Bin 表格 (48-54)：SEMI 气体代码 147
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版本
MultiFlo™ 配置器 FloCom 数据库 db190701
说明
- 数据库中新增了以下气体/混合物：SEMI 气体代码 267、1053、1054、1055
- 为以下气体/混合物添加了 GF40 和 GF100 系列 SA/SH Bin 表格 (40-54)：SEMI 气体代码 251、267、1053、1054、1055
- 为以下气体/混合物添加了 GF100 系列大流量 SA/SH 储气筒 (49-54)：SEMI 气体代码 22、23、589
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